Dit instrument maakt gebruik van een contactloze, optische faseverschuivende interferometrische meetmethode, beschadigt het oppervlak van het werkstuk niet tijdens de meting, kan snel de driedimensionale grafische weergave van de oppervlaktemicrotopografie van verschillende werkstukken meten en de meting analyseren en berekenen resultaten.
Productbeschrijving
Kenmerken: Geschikt voor het meten van de oppervlakteruwheid van verschillende eindmaten en optische onderdelen; de diepte van het dradenkruis van de liniaal en de wijzerplaat; de dikte van de coating van de roostergroefstructuur en de structuurmorfologie van de coatinggrens; het oppervlak van de magnetische (optische) schijf en de magnetische kop Structuurmeting; oppervlakteruwheid van siliciumwafels en patroonstructuurmeting, enz.
Vanwege de hoge meetnauwkeurigheid van het instrument heeft het de kenmerken van contactloze en driedimensionale metingen, en maakt het gebruik van computerbesturing en snelle analyse en berekening van meetresultaten. Dit instrument is geschikt voor alle niveaus van test- en meetonderzoekseenheden, meetkamers van industriële en mijnbouwondernemingen, workshops voor precisieverwerking, en ook geschikt voor instellingen voor hoger onderwijs en wetenschappelijke onderzoeksinstellingen, enz.
De belangrijkste technische parameters
Meetbereik van microscopische oneffenheden op het oppervlak
Op een doorlopend oppervlak, wanneer er geen plotselinge hoogteverandering groter is dan 1/4 golflengte tussen twee aangrenzende pixels: 1000-1nm
Wanneer er een hoogtemutatie is groter dan 1/4 van de golflengte tussen twee aangrenzende pixels: 130-1nm
Herhaalbaarheid van de meting: δRa ≤0,5 nm
Vergroting objectieflens: 40x
Numerieke opening: Φ 65
Werkafstand: 0,5 mm
Gezichtsveld van het instrument Visueel: Φ0,25 mm
Foto: 0,13×0,13 mm
Instrumentvergroting Visueel: 500×
Foto (waargenomen via computerscherm) -2500×
Ontvanger meetarray: 1000X1000
Pixelgrootte: 5,2 x 5,2 µm
Meettijd bemonsteringstijd (scannen): 1S
Instrument standaardspiegelreflectiviteit (hoog): ~50%
Reflectie (laag): ~4%
Verlichtingsbron: gloeilamp 6V 5W
Golflengte groene interferentiefilter: λ≒530 nm
Halve breedte λ≒10nm
Hoofdmicroscooplift: 110 mm
Tafellift: 5 mm
Bewegingsbereik in X- en Y-richting: ~10 mm
Draaibereik werktafel: 360°
Kantelbereik werktafel: ±6°
Computersysteem: P4, 2,8G of meer, 17-inch flatscreen-display met 1G of meer geheugen